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劉玉貴
1923年2月生，河北省人，1948年3月加入中國共產黨，1960年至1980年任副所長，1980年至1982年擔任所顧問，1982年離休，1994年病故。
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牟敦廉
1962年任副所長，1971年11月調離。
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葉 強
1918年7月生，江蘇省人，1962年11月來所工作并擔任黨總支書記兼副所長，1972年任黨委副書記兼革委會副主任，1979年9月調離。
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劉守銘
1921年10月生，山東省人，1971年2月來所工作，1972年10月至1979年3月任黨委書記兼革委會副主任，1981年2月至1982年12月任黨委副書記，1982年12月離休，1989年病故。
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唐守仁
1919年11月生，山西省人，1965年1月來所工作，1965年1月任黨委副書記兼革委會副主任，1979年離休，1980年7月任所顧問，1981年病故。
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崔慶增
1922年8月生，河北省人，1960年5月到所工作，1962年1月至1980年3月任副所長，1980年7月任所顧問，2007年病故。
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田玉林
1926年12月生，遼寧省人，1978年到所工作，1978年至1983年任副所長，1983年離休，1991年病故。
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呂寶山
1926年10月生，山東省人，1978年3月來所工作，1978年3月至1983年9月任黨委副書記兼常務副所長，1983病故。
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包圣清
1927年6月生，遼寧省人，1980年1月至1983年9月任黨委副書記，1983年9月離休。
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王 川
1925年8月生，遼寧省人，1979年5月到所工作，1981年10月至1986年7月任副所長，1986年8月離休。
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常 毅
1926年1月生，山東省人，1978年3月到所工作，1978年3月至1986年8月任黨委書記，1986年8離休。
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蔣新松
1931年8月生，江蘇省人，研究員，上海交通大學畢業，1965年到所，1980年1月任副所長，1980年7月至1994年9月任所長，1994年當選中國工程院院士，1997年病故。
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吳繼顯
1931年8月生，湖南人，研究員，湖南大學畢業，1965年10月到所工作，1980年至1983年任副所長，1990年病故。
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林滋治
1931年7月生，福建省人，研究員，上海交通大學畢業，1965年到所工作，1980年至1983年任副所長，1983年7月調離。
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王景川
1944年12月生，黑龍江省人，研究員，哈爾濱軍事工程學院畢業，1970年來所工作，1983年5月任副所長，1984年8月調任中國科學院沈陽分院任副院長，后又調至中國科學院和國家知識產權局。
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吳國有
1983年5月任黨委副書記，1985年3月調離。
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王天然
1943年3月生，黑龍江省人，研究員，哈爾濱工業大學畢業，1970年2月到所工作，1985年5月至1994年8月任副所長，1994年9月至2003年9月任所長，2003年當選中國工程院院士，全國人大九、十、十一屆代表。
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李兆慈
1949年1月生，遼寧省人，研究員 清華大學畢業，1974年到所工作，1986年至1999年任副所長，1999年2月至2006年12月任黨委書記兼副所長，2006年12月任紀委書記，2009年1月退休。
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艾榮群
1939年11月生，河北省人，研究員，東北工學院畢業，1964年7月到所工作，1985年6月至1986年6月任黨委副書記，1986年7月至1998年8月任黨委書記，1992年9月至1998年8月兼任副所長，1999年11月退休。
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張念哲
1945年3月生，遼寧省人，研究員，1971年1月到所工作，1988年2月至2002年8月任副所長，2005年3月退休。
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何玉瑞
1936年8月生，河南省人，太原工學院畢業，1965年來所工作，1986年8月至1994年8月任黨委副書記，1996年8月退休。
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王小剛
1960年1月生，河北省人，研究員，東北大學畢業，1976年7月參加工作，1998年8月至2007年1月任副所長，2007年1月調離。
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王越超
1960年6月生，遼寧丹東人，中共黨員，研究員，哈爾濱工業大學畢業，工學博士。1977年10月參加工作，2002年8月至2003年9月任副所長，2003年9月至2011年6月任所長。2011年6月調離，先后任中國科學院高技術研究與發展局副局長、局長，中國科學院三亞深?？茖W工程研究所籌建組組長。
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于海斌
1964年10月生，山東乳山人，中共黨員，研究員，東北大學畢業，工學博士。1987年1月參加工作，2002年8月至2007年1月任沈陽自動化研究所副所長；2007年1月至2011年7月任沈陽自動化研究所黨委書記兼副所長；2011年7月至2020年7月任沈陽自動化研究所所長；2020年7月至2021年11月任沈陽分院分黨組書記，沈陽分院系統單位黨委書記，沈陽自動化研究所所長；2021年11月至2021年12月任沈陽分院分黨組書記、院長，沈陽分院系統單位黨委書記，沈陽自動化研究所所長；2021年12月至今任沈陽分院分黨組書記、院長，沈陽分院系統單位黨委書記。
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梁波
1965年3月生，黑龍江省杜爾伯特人，中共黨員，研究員，東北大學畢業，哲學博士。1987年7月參加工作，2009年3月至2011年7月任沈陽分院副院長；2011年7月至2011年12月任沈陽分院副院長，沈陽自動化研究所副所長；2011年12月至2016年7月任沈陽自動化研究所副所長、黨委副書記、紀委書記；2016年7月至2017年3月任沈陽自動化研究所黨委副書記、紀委書記；2017年3月至2021年12月任沈陽自動化研究所紀委書記。2021年11月任大連化學物理研究所黨委副書記、紀委書記。
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